10级-100级的洁净室，均采用单向流的气流组织送风方式，即洁净室内的气流在同一截面的任意一点，气流的方向和速度均保持一致，这样可以使洁净空气象“活塞”一样，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。
要实现“活塞”的效果，高效过滤器需要满布屋顶，且地板要采用高架回风地板，以顶送风下回风的空气循环结构，以实现单向流的气流组织方向。
10-100级无尘室对规划设计、安装施工、及后期的维护保养、运行管制等均有非常严格的要求。
千级无尘室
1000级-10万级洁净室的气流方向和100级以上的洁净室不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，拌有回流或涡流，它主要靠过滤后洁净的气流不断稀释室内的空气，将室内的污染逐渐排出，来实现洁净效果。
不同等级的无尘室，主要是依靠单位时间内所送风量（换气次数）的不同来实现。
无尘室管控之项目
1，能除去空气中之微尘粒子2，能防止微尘粒子产生3，温度和湿度之控制4，压力之调节5，结构物与隔间之气密性6，静电之防制7，安全因素之考虑8，节能之考量9，电磁干扰预防
