中科电子扫描显微镜KYKY-EM6900
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中科电子扫描显微镜KYKY-EM6900
更新时间:2024-06-14 14:18 免费会员
东莞市天测光学设备有限公司
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 KYKY-EM6900扫描电镜主要参数

1.电子光学系统

1)电子枪:发叉结构钨丝阴极

2)分辨率:二次电子像分辨率优于 3.0nm30KV);

3)放大倍率:8×~300,000×;

4)加速电压:0 V30kV,连续可调;

5)自动功能包括:自动电子枪加热、自动对中、自动加束流、自动加偏压、自动聚焦&消像散、自动象散记忆、自动对比度、自动亮度,实现一键看像功能,自动故障检测、自动校正等;

2.样品室和样品台

1)样品台:五轴高精密样品台。

X移动方向不低于80mm,Y轴移动方向不低于60mm,Z轴移动方向不低于50mm,倾斜范围为-5°~ +90° ,旋转方向为 360°;

2)可放置*大样品尺寸:直径110mm

3.真空系统

涡轮分子泵和机械泵,可保持设备长期的高分辨;

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